所属 東北大学 多元物質科学研究所
計測研究部門・量子光エレクトロニクス研究分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Division of Measurements, Quantum Optoelectronics Laboratory
所属 東北大学 多元物質科学研究所
計測研究部門 放射光可視化情報計測研究分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Division of Measurements, Synchrotron Radiation Microscopy and Informatics
所属 東北大学 多元物質科学研究所
計測研究部門 放射光ナノ構造可視化研究分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Division of Measurements, Synchrotron Radiation Soft X-ray Microscopy
所属 東北大学 多元物質科学研究所
計測研究部門 放射光ナノ構造可視化研究分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Division of Measurements, Synchrotron Radiation Soft X-ray Microscopy
所属 東北大学 多元物質科学研究所
マテリアル・計測ハイブリッド研究センター 光機能材料化学分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Materials-Measurement Hybrid Research Center, Photo-Functional Material Chemistry
研究キーワード 超微細加工レジスト材料/超精密位置合わせ・積層プロセス/人工反応場 Resist materials for super fine patterning/Process for super fine overlay and integration process/Meta-site
所属 北海道大学 電子科学研究所
光科学研究部門 光システム物理研究分野 Research Institute for Electronic Science, Hokkaido University
Photonics and Optical Science Laboratory of Photo-System Physics
所属 大阪大学 産業科学研究所
第一研究部門・複合知能メディア研究分野 The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University
Division of Information and Quantum Sciences, Department of Intelligent Media
所属 東北大学多元物質科学研究所
マテリアル・計測ハイブリッド研究センター 光機能材料化学研究分野 Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
Materials-Measurement Hybrid Research Center, Division of Photo-Functional Materials Chemistry
所属 北海道大学 電子科学研究所
光科学研究部門 極微システム光操作研究分野 Research Institute for Electronic Science, Hokkaido University
Laboratory of Nanosystem Optical Manipulation, Division of Photonics and Optical Science