ネットワーク型共同研究拠点を支える 人・環境と物質をつなぐイノベーション創出ダイナミック・アライアンス 研究者データベース

軟Ｘ線は軽元素で吸収コントラストが容易に得られるので物質の基礎研究に有用なプローブです。そのため、軟Ｘ線を簡便に取り扱うための専用光学素子として、周期的膜厚構造によって所定の波長の軟Ｘ線をブラッグ反射する多層膜ミラーが必要とされています。特に、膜厚を精密に制御して曲面基板に成膜する技術が要求されています。

Soft X-ray is a useful probe in basic material science for its high absorption contrast against light elements. As optical components to handle the soft X-rays freely, multilayer mirrors which reflect soft X-rays in Bragg reflection geometry from its periodic layer structure are needed. Especially, multilayer deposition technique on curved substrates with high precision thickness control is required.

面内方向に膜厚勾配を持つ多層膜が成膜できる速度制御シャッターシステムを利用して、顕微鏡光学系など、曲面基板を用いた多様な軟Ｘ線多層膜ミラーを開発しています。また、軟Ｘ線多層膜ならびに一般的な軟Ｘ線斜入射ミラーを評価するために最近つくられた放射光ビームライン設備の調整と性能向上を進めています。

Various kinds of soft X-ray multilayer mirrors with curved substrates such as microscope optics are developed using a speed programmed shuttering system for laterally graded multilayer fabrication. Moreover, the evaluation facility recently constructed at a synchrotron radiation beamline for soft X-ray multilayers as well as general glazing incidence soft X-ray mirrors has been under tuning up and improvement.