IMRAM

Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University

東北大学
多元物質科学研究所

LAST UPDATE 2021/05/06

  • 研究者氏名
    Researcher Name

    寺内正己　Masami TERAUCHI
    教授　Professor

  • 所属
    Professional Affiliation

    東北大学多元物質科学研究所
    Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University

    計測研究部門　電子回析・分光計測研究分野
    Division of Measurements, Electron-Crystallography and-Spectroscopy

  • 研究キーワード
    Research Keywords

    電子顕微鏡法
    軟X線発光分光
    収束電子回折法
    ボロン化合物
    Electron microscopy
    Soft X-ray emission spectroscopy
    Convergent-beam electron diffraction
    Boron compounds
研究テーマ
Research Subject
電子顕微鏡を用いた構造・電子状態解析
Electron crystallography and spectroscopy by electron microscope

研究の背景 Background

持続可能な社会の実現には、小型・高機能・省エネルギーなデバイス開発が必要とされます。そのためには、新機能物質開発とそれを高精度で分析する技術の二つがうまくかみ合って協奏して進める必要があります。電子顕微鏡を用いたミクロ・ナノスケールでの分析技術はすでに社会の基盤技術となっており、その更なる高精度化が望まれています。

Production of new functional devices, necessary for realizing a sustainable social system, needs a good collaboration of challenging material developments and dedicated evaluation system. Analysis methods based on electron microscopy has been a dedicated evaluation method for microscopic structures and those compositions with a high spatial resolution. Nowadays, further advanced analysis methods on dielectric properties and chemical states directly related to functions are hoped to be integrated into electron microscopy

研究の目標 Outcome

電子顕微鏡を用いた高い空間分解能での構造観察・組成分析技術を基盤とし、さらに、物質の誘電的性質や化学状態分析が行える手法・装置の開発と基礎研究への適用を行うことを目指しています。近年は、オリジナル開発の電子顕微鏡用軟X線発光分光装置を、産官学の連携により市場へ出すことに成功しました。現在、この新技術のデータベース構築を進めており、材料開発への貢献を目指しています。

Recently, we developed soft-X-ray emission spectroscopy instruments to investigate chemical state of elements from specified small specimen areas by electron microscope. Data base for finger printing of chemical state of elements is now under construction for distributing this new analysis method.

研究図Research Figure

Fig.1 Developed SEM-SXES instruments. Fig.2 Li-K and Mg-L emission spectra.

文献 / Publications

M Terauchi in “Transmission Electron Microscopy Characterization of Nanomaterials”, ed. CSSR Kumar, (Springer-Verlag, Berlin Heidelberg) 284. M Terauchi, et al., Microscopy and Microanalysis 20 (2014), 629. 寺内正己, 顕微鏡, vol.46(No.2), 105-110 (2011)