IMRAM

Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University

東北大学
多元物質科学研究所

LAST UPDATE 2021/05/06

  • 研究者氏名
    Researcher Name

    羽多野忠 Tadashi HATANO
    助教 Assistant Professor
  • 所属
    Professional Affiliation

    東北大学多元物質科学研究所
    Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University

    計測研究部門 放射光ナノ構造可視化研究分野
    Division of Measurements, Synchrotron Radiation Soft X-ray Microscopy
  • 研究キーワード
    Research Keywords

    軟X線
    多層膜ミラー
    偏光
    放射光
    Soft X-ray
    Multilayer mirror
    Polarization
    Synchrotron radiation
研究テーマ
Research Subject
軟X線多層膜結像ミラーの開発
Development of soft X-ray multilayer imaging mirrors

研究の背景 Background

軟X線は軽元素で吸収コントラストが容易に得られるので物質の基礎研究に有用なプローブです。そのため、軟X線を簡便に取り扱うための専用光学素子として、周期的膜厚構造によって所定の波長の軟X線をブラッグ反射する多層膜ミラーが必要とされています。特に、膜厚を精密に制御して曲面基板に成膜する技術が要求されています。

Soft X-ray is a useful probe in basic material science for its high absorption contrast against light elements. As optical components to handle the soft X-rays freely, multilayer mirrors which reflect soft X-rays in Bragg reflection geometry from its periodic layer structure are needed. Especially, multilayer deposition technique on curved substrates with high precision thickness control is required.

研究の目標 Outcome

面内方向に膜厚勾配を持つ多層膜が成膜できる速度制御シャッターシステムを利用して、顕微鏡光学系など、曲面基板を用いた多様な軟X線多層膜ミラーを開発しています。また、軟X線多層膜ならびに一般的な軟X線斜入射ミラーを評価するために最近つくられた放射光ビームライン設備の調整と性能向上を進めています。

Various kinds of soft X-ray multilayer mirrors with curved substrates such as microscope optics are developed using a speed programmed shuttering system for laterally graded multilayer fabrication. Moreover, the evaluation facility recently constructed at a synchrotron radiation beamline for soft X-ray multilayers as well as general glazing incidence soft X-ray mirrors has been under tuning up and improvement.

研究図Research Figure

文献 / Publications

J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 196, 156 (2014). 表面科学, 35, 294 (2014). 精密工学会誌, 80, 524 (2014). J. Phys.: Conf. Series, 463, 012010 (2013). J. Phys.: Conf. Series, 425, 152018 (2013).

研究者HP