ISIR

The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University

大阪大学
産業科学研究所

LAST UPDATE 2017/02/26

  • 研究者氏名
    Researcher Name

    麻生亮太郎 Ryotaro ASO
    助教 Assistant Professor
  • 所属
    Professional Affiliation

    大阪大学産業科学研究所
    The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University

    産業科学ナノテクノロジーセンター
    Nanoscience and Nanotechnology Center
  • 研究キーワード
    Research Keywords

    環境制御型透過電子顕微鏡
    走査型透過電子顕微鏡
    電子エネルギー損失分光法
    無機材料
    Environmental transmission electron microscopy
    Scanning transmission electron microscopy
    Electron energy-loss spectroscopy
    Inorganic materials
研究テーマ
Research Subject
環境制御型透過電子顕微鏡を用いた新規構造解析法の開発
Development of new approach in structure characterization by environmental transmission electron microscopy

研究の背景 Background

微細加工技術の発展からナノスケールで構造制御したデバイスの作製が可能となっており、実環境下における動作の理解には原子レベルでの解析が必要になっています。最近では、観察対象となるナノレベルの構造を電子顕微鏡内でその場形成することが可能となっており、原子スケールでその場観察が可能な環境制御型透過電子顕微鏡(ETEM)と合わせて用いることで、実動作環境下におけるデバイス特性の評価を行うことが可能となっています。

For development of fine processing technology, it is possible to make the device controlled at nanoscale, and full understanding of how the device acts under the actual environment is required. In-situ formation and observation by using environmental transmission electron microscopy (ETEM) provide us to the atomic-level characterization for nanostructures and functions under the reaction environment.

研究の目標 Outcome

実環境下で原子スケールのその場観察が可能なETEMに、走査型透過電子顕微鏡(STEM)と電子エネルギー損失分光法(EELS)を組み込んだ新たなその場観察・分析手法の開拓を目指しています。金属や金属酸化物表面における構造変化を原子レベルで解析し、同時に電子構造を抽出することで、原子構造と電子状態の包括的な理解が可能となります。

The objective of study is the development of a unique approach for in-situ characterization by combination of scanning transmission electron microscopy (STEM) and electron energy-loss spectroscopy (EELS). Atomic-level characterization of the surface structure in the metal and metal oxide leads us to the understanding of the relation between the atomic and electronic structures.

研究図Research Figure

Fig.1. (a,d) TEM images and (b,c,e,f) electron diffraction patterns of SrRuO3 thin films on GdScO3 substrates. Fig.2. (a) HAADF- and (c) ABF-STEM images of SrRuO3 thin film on GdScO3 substrate. (b) HAADF intensity profiles of Aand B-site cations across the heterointerface.

文献 / Publications

Adv. Funct. Mater. 24, 5177–5184 (2014), 23, 1129–1136 (2013). Cryst. Growth. Des. 14, 2128–2132, 6478–6485 (2014). Sci. Rep. 3, 2214 (2013). Macromolecules 46, 8589–8595 (2013).

研究者HP